為了制造高質(zhì)量的產(chǎn)品，需要選擇最佳的UV光源和UV照射設(shè)備來(lái)對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光。

輻照均勻度和功率

曝光光刻膠時(shí)，選擇能夠提供最均勻光線的紫外光源非常重要。光均勻性差會(huì)導(dǎo)致光刻膠圖案形成不均勻。　

另外，關(guān)于光輸出，需要選擇高輸出的紫外光源。如果產(chǎn)量高，處理速度會(huì)較快，但如果產(chǎn)量低，處理時(shí)間會(huì)較長(zhǎng)，這會(huì)極大地影響最終的吞吐量（生產(chǎn)數(shù)量）。另一方面，如果輸出太高，可能會(huì)出現(xiàn)光刻膠起泡等問(wèn)題。

因此，在選擇紫外光源時(shí)，需要選擇波長(zhǎng)適合光刻膠的光源、能夠照射均勻光線的光源以及能夠調(diào)節(jié)到最佳輸出的光源。

能源效率和成本

能源效率必須從兩個(gè)角度考慮：運(yùn)行成本和環(huán)境影響。

高效的紫外線光源極大地有助于降低能耗和運(yùn)行成本。另外，在考慮成本時(shí)，需要同時(shí)考慮UV光源的初始安裝成本和運(yùn)行成本。盡管高性能光源的初始安裝成本往往較高，但考慮到長(zhǎng)期運(yùn)營(yíng)成本，它可能是經(jīng)濟(jì)的。

選擇UV光源時(shí)，重要的是要考慮能耗、運(yùn)行成本、維護(hù)成本等，綜合做出決定。